麦氏真空计
也称为压缩式真空计，将待测的气体用汞（或油）压缩到一小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种真空计。
 
热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
 
电离真空计
由筒状收集，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集在栅网外面。热阴发射电子电离气体分子，离子被收集收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
 
复合真空计
由热偶真空计与热阴电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
 
冷阴电离计
阳筒的两端有一对阴板，在外加磁场作用，阳筒内形成放电产生离子，根据阴板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
 
电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。
 
电容薄膜真空计
这是一种阴与收集倒置的热阴电离规。收集是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点，因而越来越受到人们的重视。以它取代水银压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。