螺杆真空泵
      螺杆真空泵是一种非接触式干式真空泵，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，泵工作时相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，限真空更高，消耗功率更低，具有节能、免维修等优点。该泵以抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用，逐渐成为油封式真空泵的更新换代产品。
      螺杆真空泵适用范围广，真空度高，其真空度、抽气速率不受环境影响，可获得清洁真空。
罗茨真空泵
      罗茨真空泵又称机械增压泵，是一种容积式真空泵，在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验。
往复式真空泵
      往复式真空泵属于低真空获得设备，靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，又称活塞式真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵抽气量较大，抽气速率范围为每小时45～20000立方米，单级泵限压力约为103帕，双级泵可达1帕。
往复式真空泵不适合抽除腐蚀性或含有颗粒状灰尘的气体，被抽气体中如果含有灰尘，在泵的进口处必须加装过滤器。
水环式真空泵
      水环式真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。在泵体中装有适量的水作为工作液，是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
      水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点：
        结构简单，制造精度要求不高，容易加工。
        结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。
        压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。
        由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。
        吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。
      水环泵也有其缺点：
        效率低，一般在30%左右，较好的可达。
        真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液，可达130Pa。