(1)腐蚀和磨损，腐蚀的主要原因是选材不当，发生腐蚀故障时应从介质和材料两方面入手解决 磨损常发生在输送浆液时，主要原因是介质中含有固体颗粒。对输送浆液的罗茨真空泵造成磨损，除罗茨真空泵的过流部件应采用耐磨材料外，轴封应采用清洁液体冲洗以免杂质侵入，并在泵内采取冲洗设施以免流道堵塞。此外，对于易损部件在磨损量一定时应应予以更换。
(2)机械故振动和噪音是主要的机械故障。振动的主要原因是轴承损坏，或出现汽蚀和装配不良。如罗
茨泵与原动机不同轴，基础刚度不够或基础下沉、配管憋劲等。
(3)性能故障，性能故障主要指流量、扬程不知，泵气蚀和原动机超载等意外事故。
(4)轴封故障，轴封故障主要指密封处出现泄漏。填料密封泄漏的主要原因是填料选用不当或密封老化、轴套磨损等。
(5)真空度达不到规定要求
1、 管路泄漏——系统检漏并修复。
2、 前级泵入口放气阀失灵——修复或更换。
3、 前级泵性能变坏——对前级泵进行检修。
(6)机组自行停车
1、 前级泵故障真空泵，罗茨真空泵故障分析解决致使罗茨真空泵出口压力过高——修复前级泵。
2、 冷却水故障——修复并正常供水。
3、 罗茨真空泵过载——找出过载原因修复。